アズワン(AS ONE) マスフローコントローラーC1000N/C20sccmHe C1005NC-4S2-20-He 入数:1個
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商品の説明
【アズワン AS ONE】
●ノーマルクローズ仕様商品の仕様
●流量:F.S.20sccm
●接続:1/4インチSWL相当
●ガス種類:He
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
●応答性:6sec
●流量制御範囲:5~100%FS
●入出力:アナログ信号(0~5VDC)
●バルブ形式:N/Cノーマルクローズ
●再現性:±0.2%FS
●動作圧力範囲:50~300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●電源:+15VDC±5%60mA、-15VDC±5%150mA
●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:127×25.5×100mm
【※ご注意ください】商品は代表の画像を使用しています。
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