アズワン(AS ONE) マスフローコントローラーC1000N/C200sccmHe C1005NC-4S2-200-He 入数：1個

【アズワン AS ONE】
●ノーマルクローズ仕様
商品の仕様
●流量：F.S.200sccm
●接続：1／4インチSWL相当
●ガス種類：He
●流量精度：±2％FS(精度保証範囲15～35℃)
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号(0～5VDC)
●バルブ形式：N/Cノーマルクローズ
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa(G)
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec(He)以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●電源：＋15VDC±5％60mA、-15VDC±5％150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ：127×25.5×100mm

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